精密行星减速机的维护主要包括以下方面：

1. 保持机身的干净。使用中不免会有油污和灰尘，如果一些碎屑长期堆在表面无人清理的话，就很容易导致机身的腐蚀和减速器运行过程中的不安全。

2. 定期检查。需要定期检查机身是否出现破损，零件是否缺少，或者是行星减速机的运行情况，这样才能及时发现一些小问题及时处理，以免变成大问题。

3. 适当增加润滑油。按道理来说减速机上的润滑油不建议经常更换，而且添加润滑油不宜过多或者是太过于频繁，这样会影响减速机的使用。

4. 及时更换破损的零件。如果检查到行星减速机的零件出现问题，损坏的零件要及时更换，才能确保减速机正常运转。

5. 定期更换密封件。密封件对于精密行星减速机也很重要，需要定期检查更换，以确保其正常运转。